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外媒報導 ，

• China Reportedly Develops Lithography Machine With Precision Rivalling ASML’s High-NA EUV, But Limited to Research Applications, Not Mass Production

（首圖來源：中國杭州人民政府）

延伸閱讀  ：

• 中媒 ：中國推出首款國產電子束蝕刻機「羲之」

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